特許
J-GLOBAL ID：200903049123955794

オゾンの供給方法及び装置

発明者：
讃井 宏

讃井 宏 について


出願人/特許権者：
日本酸素株式会社

日本酸素株式会社 について


代理人 (1件)： 木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344717
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169113
出願日： 1998年12月03日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 オゾンの分解が発生したことを迅速に検知するとともに発生部分の特定を行い、さらに、オゾンの分解を停止させて安定した状態でオゾンを供給する方法及び装置を提供する。【解決手段】 オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の温度を測定し、測定温度の上昇によってオゾンの分解を検知する。さらに、測定温度が所定温度を超えたときには、該温度上昇部分を冷却する。
請求項（抜粋）：
オゾンを供給する配管における曲り部,弁部,流量計部、その他、配管内を流れるオゾン含有ガスの流れ方向や圧力,流速が変化する部分乃至その下流側近傍の温度を測定し、測定温度の上昇によってオゾンの分解を検知することを特徴とするオゾンの供給方法。
IPC (3件)：
C01B 13/10 ,  B01J 4/00 102 ,  D21C 9/153
FI (3件)：
C01B 13/10 Z ,  B01J 4/00 102 ,  D21C 9/153
Fターム (14件)：
4G042AA07 ,  4G042CC23 ,  4G068AA01 ,  4G068AB01 ,  4G068AE01 ,  4G068AE10 ,  4G068AF12 ,  4G068AF31 ,  4L055AD08 ,  4L055DA09 ,  4L055DA13 ,  4L055DA17 ,  4L055DA30 ,  4L055FA23
引用特許：
審査官引用 (5件)
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