板材クランプ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015264
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216226
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】高速で回転させた場合でも、大きな振動が発生するのを抑制すると共に、回転駆動装置を小型化できるようにする板材クランプ装置を提供する。【解決手段】「回転軸」としての第2筒体4の上端部に「回転盤」としての回転円盤12が配設され、該回転円盤12の同心円上に複数のクランプ部材15が所定間隔で回転自在に配設され、該クランプ部材15には該クランプ部材15の回転中心Oに対して偏心した位置にクランプ凸部15cが形成され、前記クランプ部材15が回転されることにより前記クランプ凸部15cが「板材」としての半導体ウエハWの周縁部に当接させてクランプするように構成された。

請求項（抜粋）：

回転軸の上端部に回転盤が配設され、該回転盤の同心円上に複数のクランプ部材が所定間隔で回転自在に配設され、該クランプ部材には該クランプ部材の回転中心に対して偏心した位置にクランプ凸部が形成され、前記クランプ部材が回転されることにより前記クランプ凸部が板材の周縁部に当接してクランプされるように構成されたことを特徴とする板材クランプ装置。

Fターム (6件)：

5F031CA02 , 5F031HA24 , 5F031HA30 , 5F031LA07 , 5F031MA23 , 5F031NA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-199261 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板回転保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-125809 出願人：株式会社東芝
特開昭63-153839

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