特許
J-GLOBAL ID：200903049232303020

ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造

発明者：
梅田 俊哉

梅田 俊哉 について

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長田 厚

長田 厚 について

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川島 英顯

川島 英顯 について

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吉田 勉

吉田 勉 について


出願人/特許権者：
日本バルカー工業株式会社

日本バルカー工業株式会社 について

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伯東株式会社

伯東株式会社 について

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株式会社ウインズ

株式会社ウインズ について


代理人 (1件)： 西村 知浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-167481
公開番号（公開出願番号）：特開2006-103795
出願日： 2005年06月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。【解決手段】レチクルRが載置される底部材12と、底部材12に載置されたレチクルRを覆うように底部材12に合わせられ底部材12との間に空間部を形成する蓋部材20と、底部材12又は/及び蓋部材20に設けられ蓋部材20が底部材12に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材18と、蓋部材20に設けられ底部材12に引っ掛けられて蓋部材20が底部材12に合わせられた状態を維持するフック部材24と、を有する構成とした。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ガラス基板を収納するためのガラス基板収納ケースであって、 前記ガラス基板が載置される底部材と、 前記底部材に載置された前記ガラス基板を覆うように前記底部材に合わせられ前記底部材との間に空間部を形成する蓋部材と、 前記底部材又は/及び前記蓋部材に設けられ、前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態で前記空間部を気密にするシール部材と、 前記蓋部材に設けられ、前記底部材に引っ掛けられて前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態を維持するフック部材と、 を有することを特徴とするガラス基板収納ケース。
IPC (8件)：
B65D 85/86 ,  B65D 45/20 ,  B65D 53/00 ,  F16J 15/10 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/673 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
B65D85/38 K ,  B65D45/20 ,  B65D53/00 Z ,  F16J15/10 T ,  G03F1/14 M ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  H01L21/30 503D
Fターム (74件)：
2H095BA02 ,  2H095BE12 ,  3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA24 ,  3E084AB10 ,  3E084BA01 ,  3E084CA03 ,  3E084CC03 ,  3E084DA03 ,  3E084DB14 ,  3E084DB18 ,  3E084DC03 ,  3E084FA09 ,  3E084FC14 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  3E084GB26 ,  3E084HA03 ,  3E084HB08 ,  3E084HC03 ,  3E084HD01 ,  3E096AA01 ,  3E096BA20 ,  3E096BB05 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA26 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096EA04X ,  3E096FA01 ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA19 ,  3E096FA22 ,  3E096FA27 ,  3E096GA20 ,  3J040AA17 ,  3J040BA03 ,  3J040EA16 ,  3J040EA22 ,  3J040FA05 ,  3J040HA03 ,  3J040HA30 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031EA02 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031EA18 ,  5F031EA19 ,  5F031FA03 ,  5F031FA04 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA50 ,  5F031KA03 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046AA21
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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