特許
J-GLOBAL ID：200903049259275894
超音波ホーン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八幡 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-086011
公開番号（公開出願番号）：特開2001-269618
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：
【要約】【課題】 ボンディング用超音波ホーンにおいて装着されたキャピラリーの先端の振動方向を超音波ホーンの軸方向に近付けるようにする。【解決手段】 超音波ホーンの先端部を直方体とし、割りの左右の幅について、キャピラリー締め付け用ボルトの先端が来る側の方の幅を、ボルトの頭がある側の方の幅より大きくすることにより、キャピラリー締め付け中心点(Y軸とZ軸の交点)に対する先端部左側からの総モーメントと右側からの総モーメントの値が同じになるようにする。
請求項（抜粋）：
断面円形で、先端方向へ進むにつれてその直径が直線的に減少してゆくテーパ部分を有し、所定の直径となった箇所で断面がその箇所における断面円を内包する長方形断面となり円の中心が一方の短辺に片寄った位置関係で先方へ所定の長さで先端に至る直方体状の先端部を有し、この先端部には前記テーパ部分からの中心軸を含み先端部断面直方形の短辺に平行な割りが設けられ、該割りの途中に前記テーパ部分からの中心軸と直交し前記断面直方形の短辺に平行な中心軸を有するキャピラリー保持用円形孔を有し、該円形孔と前記テーパ部分の間の割りが入っている部分で先端部分断面直方形の長辺に平行なボルト用孔を有し、割りで区切られた孔の長い方にボルト締め用の雌ねじが刻まれており、テーパ部分が片寄った側のボルト用孔から頭付きボルトを挿入して捩じ締めることによりキャピラリー保持用円形孔に装着したキャピラリーを締め付け保持する構造であって、キャピラリー保持用円形孔中の中心軸をZ軸、テーパ部分からの中心軸をY軸とし、これら2軸の交点を原点とし、この原点を通りこれら2軸に直交する軸をX軸とする直交座標を考えたとき、前記先端部を、締め付けボルトごとZ軸とY軸を含む面で区切った両側のそれぞれについて数式1で算出した値が同じとなる形状であることを特徴とする超音波ホーン。【数1】但し、ρはホーン先端部およびボルトの密度
IPC (4件)：
B06B 1/02
, B06B 1/06
, H01L 21/60 301
, H01L 21/607
B06B 1/02 K
, B06B 1/06 Z
, H01L 21/60 301 G
, H01L 21/607 C
5D107AA09
, 5D107BB01
, 5D107CC04
, 5D107FF03
, 5D107FF08
, 5F044BB00
