特許
J-GLOBAL ID：200903049289188201
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-099467
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311522
出願日： 2003年04月02日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】半導体製造時の200°Cの温度域においても十分に使用可能であるとともに、近年の省資源奨励の観点から給電端子部を再利用することができる静電チャックを提供する。【解決手段】基材30と、上記基材30の上面に溶射され、内部電極33が埋設された誘電体層31,34と、上記基材30の下方から上記内部電極33まで延在し、電極37を備える給電端子部38とを備える静電チャックにおいて、給電端子部38と上記基材30との固定を機械的締結により行う。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基材と、前記基材の上面に溶射され、内部電極が埋設された誘電体層と、前記基材の下方から前記内部電極まで延在し、電極を備える給電端子部とを備える静電チャックにおいて、給電端子部と前記基材との固定を機械的締結により行うことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031HA03
, 5F031HA17
, 5F031HA19
, 5F031PA30
