圧電共振子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276869
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102902
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】音響特性に優れ、かつ薄膜に適したダイヤモンド薄膜を支持膜に採用し、振動体が支持膜に密着性良く形成されて、電気的絶縁性に優れた圧電体からなるQ値の高い圧電共振子を提供する。【解決手段】振動空間を有する基体1と、その振動空間Aを被覆するように前記基体1表面に形成されたダイヤモンドからなる支持膜2と、その上に順次形成された密着層3と、一対の電極5、7で挟持された圧電体6とを具備した圧電共振子であって、密着層3が絶縁体からなる。

請求項（抜粋）：

振動空間を有する基体と、前記振動空間を被覆するように前記基体表面に形成されたダイヤモンドからなる支持膜と、該支持膜上に形成された密着層と、該密着層上に形成され、かつ一対の電極で圧電体を挟持してなる振動体とを具備した圧電共振子であって、前記密着層が絶縁体であることを特徴とする圧電共振子。

Fターム (9件)：

5J108AA06 , 5J108AA07 , 5J108BB04 , 5J108CC01 , 5J108DD01 , 5J108DD06 , 5J108EE03 , 5J108EE13 , 5J108KK01

引用特許：

審査官引用 (4件)

圧電薄膜共振子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008646 出願人：三菱マテリアル株式会社
特開昭58-031609
表面弾性波素子用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-211449 出願人：テイーデイーケイ株式会社

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