サスペンション用基板、その製造方法、磁気ヘッドサスペンションおよびハードディスクドライブ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：吉武賢次 , 永井浩之 , 岡田淳平 , 勝沼宏仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-115592
公開番号（公開出願番号）：特開2008-310946
出願日： 2008年04月25日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：

【課題】低剛性化された場合であっても、反りが少ないサスペンション用基板を提供する。【解決手段】サスペンション用基板10は金属基板1と、金属基板1に上形成された絶縁層2と、絶縁層2上に形成された配線層3と、配線層3を覆うカバー層4とを備えている。絶縁層2の材料とカバー層4の材料は異なる材料からなり、両者の吸湿膨張係数は0×10-6/%RH〜30×10-6/%RHの範囲内にある。両者の吸湿膨張係数の差は、5×10-6/%RH以下の範囲内にある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属基板と、前記金属基板上に形成され、絶縁層形成材料からなる絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層と、前記絶縁層上に形成され、少なくとも前記配線層の一部を覆う、カバー層形成材料からなるカバー層とを備え、前記絶縁層形成材料およびカバー層形成材料の吸湿膨張係数が、0/%RH〜30×10-6/%RHの範囲内であり、さらに両者の前記吸湿膨張係数の差が、0〜5×10-6/%RHの範囲内であることを特徴とするサスペンション用基板。

IPC (3件)：

G11B 5/60 , G11B 21/21 , C08G 73/10

FI (3件)：

G11B5/60 P , G11B21/21 D , C08G73/10

Fターム (81件)：

4J043PA02 , 4J043PA08 , 4J043PC016 , 4J043PC146 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA051 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA252 , 4J043UA262 , 4J043UA361 , 4J043UA762 , 4J043UA771 , 4J043UA781 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB161 , 4J043UB162 , 4J043UB281 , 4J043UB282 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB351 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA042 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA071 , 4J043VA081 , 4J043VA091 , 4J043VA092 , 4J043VA102 , 4J043XA16 , 4J043YA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA31 , 4J043ZA46 , 4J043ZB47 , 4J043ZB50 , 5D042NA02 , 5D042PA10 , 5D042SA10 , 5D042TA02 , 5D042TA05 , 5D059AA01 , 5D059BA01 , 5D059DA31 , 5D059DA33 , 5D059DA36 , 5D059EA03 , 5D059EA07

引用特許：

出願人引用 (1件)

積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-070658 出願人：株式会社エー・エム・ティー・研究所

審査官引用 (2件)

ディスク装置用サスペンション
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-094055 出願人：日本発条株式会社
積層体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-254700 出願人：新日鐵化学株式会社

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