表面の異常および/または特徴を検出するためのシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-505506
公開番号（公開出願番号）：特表2001-512237
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【解決手段】円柱ミラーまたは円柱レンズを用いて、入射する平行化された光ビームを被検査表面上の線に集束させ、この線は集束ビームの入射面に実質的存在するものである。ビームの像が表面の異常および/または特徴を検出するために線に平行な電荷結合素子のアレイに投影され、このアレイは集束ビームの入射面の外側に存在するものである。

請求項（抜粋）：

表面の異常および/または特徴を検出するための方法であって、表面上の線を照明させるために斜角の入射角で放射ビームを集束させ、前記ビームおよびビームを通り表面に垂直な方向はビームの入射面を規定し、前記線はビームの入射面に実質的に存在する放射ビームの集束ステップと、アレイにある各検出器が線の対応部分からの光を検出する検出器のアレイに前記線を像映するステップとからなる表面の異常および/または特徴を検出するための方法。

IPC (4件)：

G01N 21/94 , G01B 11/30 , G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/94 , G01B 11/30 A , G01N 21/956 A , H01L 21/66 J

Fターム (40件)：

2F065AA49 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD04 , 2F065FF44 , 2F065FF48 , 2F065GG05 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ25 , 2F065LL04 , 2F065LL08 , 2F065LL19 , 2F065LL42 , 2F065MM02 , 2F065MM04 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051CA03 , 2G051CB05 , 2G051DA08 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB14 , 4M106DB15 , 4M106DB30 , 4M106DJ06

引用特許：

審査官引用 (8件)

表面状態検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-143627 出願人：キヤノン株式会社
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-213088 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特許第2512059号

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