特許
J-GLOBAL ID：200903049436567639
座標補正方法及び外観検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
徳丸 達雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-327237
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163174
出願日： 2002年11月11日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】外観欠陥検査装置で取得した任意の欠陥の座標情報に基づき欠陥レビュー装置で当該欠陥位置に容易に且つ精度良くアクセス可能にする異なる装置間の座標補正方法及びこの座標補正方法を用いた検査方法を提供する。【解決手段】第1検査装置の第1座標系と第1ウェハ上の仮想的なウェハ上座標系とのアライメントを行う第1アライメント工程P10、第1アライメント工程P10の後で第1補正情報を取得する第1情報取得工程P20、第1検査装置により第1位置情報を取得する第1検査工程P30、第2検査装置により第2移動手段に基づく第2座標系とウェハ上座標系とのアライメントを行う第2アライメント工程P40、第2アライメント工程P40の後で第2補正情報を取得する第2情報取得工程P50、及び第1補正情報及び第2補正情報に基づき、第1位置情報を第2位置情報に変換する座標補正工程P60、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
製品の主面上で互いに直交する2方向をそれぞれX方向及びY方向としてこのX方向及びY方向に沿って複数の単位ユニットがマトリックス状に配列された検査対象製品を載置して所望の位置に移動させる第1移動手段を備えた第1検査装置により前記検査対象製品上の複数の所定のアライメントマークを用いて前記第1移動手段に基づく第1座標系と前記検査対象製品上の仮想的な製品上座標系とのアライメントを行う第1アライメント工程と、
前記第1アライメント工程の後で所定の第1補正情報を取得する第1情報取得工程と、
前記第1検査装置により前記検査対象製品上の任意の位置に対応する前記第1座標系での第1位置情報を取得する第1検査工程と、
前記検査対象製品を載置して所望の位置に移動させる第2移動手段を備えた第2検査装置により前記アライメントマークを用いて前記第2移動手段に基づく第2座標系と前記製品上座標系とのアライメントを行う第2アライメント工程と、
前記第2アライメント工程の後で所定の第2補正情報を取得する第2情報取得工程と、
前記第1補正情報及び前記第2補正情報に基づき、前記第1位置情報を前記第2検査装置の前記第2座標系における第2位置情報に変換する座標補正工程と、
を有することを特徴とする座標補正方法。
IPC (3件)：
G01B11/00
, G01B11/30
, G01N21/956
G01B11/00 C
, G01B11/30 A
, G01N21/956 A
2F065AA03
, 2F065AA49
, 2F065BB27
, 2F065CC19
, 2F065EE00
, 2F065PP12
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051DA07
