特許
J-GLOBAL ID：200903049486273997
合成石英ガラスの製造方法及びこの方法により得られた合成石英ガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-330462
公開番号（公開出願番号）：特開平11-292551
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】 紫外線洗浄により表面が効果的に洗浄されて透過率が向上する合成石英ガラスを製造する方法を提供する。【解決手段】 先ず、中心部に原料噴出管17、原料噴出管17の周囲に第1の酸水素噴出管群22、第1の酸水素噴出管群22の外部に第2の酸水素噴出管群23ををそれぞれ有するバーナ7を用いてターゲット6上に石英ガラスインゴットIGを合成する。この合成時においては、第1の酸水素噴出管群22からは理論等量比よりも水素ガスが過剰となる第1所定比率で、また第2の酸水素噴出管群23からはほぼ理論等量比に近い第2所定比率で酸素ガス及び水素ガスを噴出させる。次に、合成された石英ガラスインゴットIGを、900°C以上で10時間以上保持した後、毎時10°C以下の降温速度で500°C以下まで降温し、その後放冷する熱処理を施す。
請求項（抜粋）：
炉と、この炉の内側空間内に位置するターゲットと、噴出口が前記ターゲットに向けて設置された多重管バーナとを用いて火炎加水分解を行い、前記ターゲット上に石英ガラス粉を堆積しガラス化させて合成石英ガラスインゴットを生成する第1工程と、前記合成石英ガラスインゴットに、溶存する水素分子濃度を制御する所定の熱処理を施す第2工程とを有する合成石英ガラスの製造方法であって、前記バーナが、中心部に配置され原料である珪素化合物を噴出する原料噴出管と、前記原料噴出管の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス及び水素ガスを噴出する第1酸水素噴出管群と、前記第1酸水素噴出管群の外部に配置されて酸素ガス及び水素ガスを噴出する第2酸水素噴出管群とを有して構成され、前記第1酸水素噴出管群における酸素ガスの水素ガスに対する流量比率が理論等量比よりも水素ガスが過剰となる第1所定比率に設定されるとともに、前記第2酸水素噴出管群における酸素ガスの水素ガスに対する流量比率がほぼ理論等量比に近い第2所定比率に設定されることを特徴とする合成石英ガラスの製造方法。
IPC (6件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, C03C 3/06
, C03C 23/00
, G02B 1/00
, H01L 21/027
C03B 8/04 G
, C03B 20/00 F
, C03B 20/00 E
, C03C 3/06
, C03C 23/00 D
, G02B 1/00
, H01L 21/30 515 D
