荷電ビーム装置および荷電ビームの制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-067221
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268756
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】真空中を浮遊する残留物を簡易な設備で効率よく除去できる荷電ビーム装置を提供する。【解決手段】荷電ビーム装置は、パルス管冷凍機11と、冷凍機11を制御する冷凍機制御部13と、圧縮機14と、高圧用ロータリバルブ15と、低圧用ロータリバルブ16と、冷凍機11に発生した振動を除去するアクティブダンパ17とを有する。真空容器2内の対物レンズ6と試料8との間に冷却部10を設けて、真空容器2内の残留物を冷却部10に吸着させるため、真空容器2内の残留物の量を減らすことができ、測長SEMの測長値の誤差が少なくなり、測定精度が向上する。また、冷却部10を冷却する冷凍機11としてパルス管を用いるため、構造を簡略化でき、小型化できるとともに、振動を抑制できて測定精度が向上し、かつ、メインテナンスも容易になり、ランニングコストを低減できる。

請求項（抜粋）：

荷電ビーム光学系と、前記荷電ビームを、試料面上の所望の位置に照射するか、あるいは試料面上の所望の領域内で走査させる偏向手段と、前記偏向手段を収納する光学鏡筒と、前記光学鏡筒に接続され試料を載置する試料台を収納する真空容器と、を備えた荷電ビーム装置において、真空容器内に存在する残留物を吸着する冷却部と、前記冷却部を冷却する極低温冷凍機と、前記極低温冷凍機に発生した振動を除去するアクティブダンパと、前記アクティブダンパを制御するアクティブダンパ制御部と、を備えることを特徴とする荷電ビーム装置。

IPC (2件)：

H01J 37/18 , H01J 37/16

FI (2件)：

H01J 37/18 , H01J 37/16

Fターム (2件)：

5C033KK01 , 5C033KK09

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-199813
特開平2-199813
電子顕微鏡の汚染防止システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159501 出願人：株式会社日立製作所

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