特許
J-GLOBAL ID：200903050014581203

静電チャック

発明者：
板倉 郁夫

板倉 郁夫 について

, 
氷室 正一郎

氷室 正一郎 について


出願人/特許権者：
東陶機器株式会社

東陶機器株式会社 について


代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-151483
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332204
出願日： 2005年05月24日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】 耐プラズマ性と被吸着物の冷却性能に優れた静電チャックを提供する。【解決手段】 静電チャック20の基本的な構成は、金属プレート21の表面に溶射によって絶縁体膜22が形成され、この絶縁体膜22の上に絶縁性接着剤層23を介して誘電体基板24が接合され、この誘電体基板24の表面は半導体ウェーハ等の被吸着物Wの載置面とされ、下面には電極25,25が形成されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
表面に溶射によって絶縁体膜が形成された金属プレートと、表面に電極が形成された誘電体基板とが、前記絶縁体膜と前記電極が対向するように絶縁性接着剤を介在して接合されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  B23Q3/15 D ,  H02N13/00 D
Fターム (11件)：
3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 実開平4-133443号公報
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-019344   出願人：京セラ株式会社
  • 静電チャック及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-348985   出願人：住友大阪セメント株式会社
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審査官引用 (4件)
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