特許
J-GLOBAL ID：200903058455906524

静電チャック

発明者：
中村 恒彦

中村 恒彦 について

, 
口町 和一

口町 和一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-017577
公開番号（公開出願番号）：特開2005-057234
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】載置面の冷却特性をよくして温度上昇を抑制し、基体との熱膨張差による絶縁膜のクラック発生と絶縁破壊を防止し、かつウエハ吸着/離脱特性の良好な静電チャックを提供する。【解決手段】導電性基体2の一方の主面に絶縁層3と、その上面に吸着用電極4a、4bと、該吸着用電極4a、4bを覆うように絶縁膜5を備え、その上面をウェハWを載せる載置面5aとして、前記絶縁層3と絶縁膜5との総厚みを20〜2000μmとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
導電性基体の一方の主面に絶縁層と、その上面に吸着用電極と、該吸着用電極を覆うように絶縁膜を備え、その上面をウェハを載せる載置面として、前記絶縁層と絶縁膜との総厚みが20〜2000μmであることを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  C04B41/90 ,  H02N13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  C04B41/90 Z ,  H02N13/00 D
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開昭59-92782号公報
  • 特開昭58-123381号公報
  • 特開平4-49879号公報
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審査官引用 (10件)
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