特許
J-GLOBAL ID:200903050118265028
積層型圧電素子およびそれを用いた噴射装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-388438
公開番号(公開出願番号):特開2003-188430
出願日: 2001年12月20日
公開日(公表日): 2003年07月04日
要約:
【要約】【課題】外部電極が剥離せず、内部電極先端の応力集中部の磁器に破壊が起こらない信頼性の高い積層型圧電素子および噴射装置を提供する。【解決手段】複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層してなる活性層と、該活性層の積層方向外側に設けられた不活性層とからなる素子本体と、該素子本体の側面に設けられ、前記内部電極が交互に接続された外部電極とを具備し、前記外部電極と前記内部電極との電気的接続の為に導電性物質を分散させたガラス成分を用いて電気的接続を保持している積層型圧電素子において、前記ガラス成分中のSiが圧電体磁器表面から5〜100μmの範囲に拡散し、かつ外部電極と接続されていない内部電極先端と圧電体磁器に拡散した前記ガラス成分中のSiとの距離を300μm以上とする。
請求項(抜粋):
複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層してなる活性層と、該活性層の積層方向両端に設けられた不活性層とからなる素子本体と、該素子本体の側面に設けられ、前記内部電極が交互に接続された外部電極とを具備し、前記外部電極と前記内部電極との電気的接続の為にガラス成分を含有する導電性物質を備えてなる積層型圧電素子において、前記導電性物質中のSiが圧電体磁器表面から5〜100μmの範囲に拡散し、かつ外部電極と接続されていない内部電極端部と圧電体に拡散した前記導電性物質中のSiとの距離を300μm以上としたことを特徴とした積層型圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/083
, F02M 51/06
, H01L 41/09
, H02N 2/00
FI (4件):
F02M 51/06 N
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 Q
, H01L 41/08 U
Fターム (5件):
3G066AA02
, 3G066AB02
, 3G066BA46
, 3G066CC06U
, 3G066CE27
引用特許:
審査官引用 (5件)
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積層型圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-278095
出願人:京セラ株式会社
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電子部品
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-132592
出願人:松下電器産業株式会社, 株式会社フルヤ金属
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積層型圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-090962
出願人:株式会社住友金属エレクトロデバイス, 住友金属工業株式会社
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