プリント基板検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336342
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156425
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】プリント基板の各種項目を短時間で検査でき、特にプリント基板上の変位量を精度良く検出することができること。【解決手段】センサヘッド20は、所定の走査範囲でレーザビームをプリント基板に照射して変位量を測定する。センサヘッド20は、Z軸移動手段29により高さ方向に移動自在であり、プリント基板Pの半田の突起に応じて常時一定間隔となるよう移動する。X軸移動手段28はセンサヘッド20をレーザビームの走査方向に沿ってこのレーザビームの走査範囲の間隔で移動させる。Y軸移動手段は、センサヘッド20のレーザビームの走査方向と直交する方向にプリント基板Pを移動させる。これにより、プリント基板Pの全面を短時間で測定でき、この際プリント基板Pの反りに影響を受けずに測定できる。

請求項（抜粋）：

プリント基板の表面状態を検査するプリント基板検査装置において、前記プリント基板に対向配置され、該プリント基板にレーザビームを照射する光源と、該光源から出射されたレーザビームをプリント基板上で走査させる偏向手段と、前記プリント基板の反射光の検出位置に基づきプリント基板上の突起の変位量を前記走査範囲で連続的に検出する受光素子からなる非接触型のセンサヘッドと、前記センサヘッドを前記突起の変位方向に移動自在なZ軸移動手段と、前記センサヘッドから出力された変位量の検出信号に基づき、前記Z軸移動手段を駆動して前記センサヘッドを前記プリント基板に対して測定可能な所定間隔となるよう制御する処理手段と、を備えたことを特徴とするプリント基板検査装置。

IPC (3件)：

H05K 3/00 , G01B 11/24 , G01N 21/956

FI (3件)：

H05K 3/00 Q , G01N 21/956 B , G01B 11/24 A

Fターム (39件)：

2F065AA24 , 2F065AA51 , 2F065AA58 , 2F065AA59 , 2F065CC01 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF44 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065KK01 , 2F065LL08 , 2F065LL13 , 2F065LL62 , 2F065MM03 , 2F065MM07 , 2F065MM16 , 2F065PP04 , 2F065PP15 , 2F065QQ25 , 2F065QQ42 , 2F065RR06 , 2F065TT07 , 2G051AA65 , 2G051AB02 , 2G051AB14 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051BC06 , 2G051CA03 , 2G051CC09 , 2G051CD04 , 2G051DA06 , 2G051EC03

引用特許：

審査官引用 (6件)

パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-331015 出願人：富士通株式会社
クリームはんだ膜厚測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-155330 出願人：安藤電気株式会社
特開平4-314400

全件表示

前のページに戻る