特許
J-GLOBAL ID:200903050307718050
音響センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中野 雅房
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-148476
公開番号(公開出願番号):特開2008-301434
出願日: 2007年06月04日
公開日(公表日): 2008年12月11日
要約:
【課題】センサ感度をあまり低下させることなく、対向電極板の側から振動電極板の振動特性などを計測することのできる音響センサを提供する。【解決手段】音圧に感応する振動電極板24が対向電極板25に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板25には、振動を通過させるための音響孔が開口している。対向電極板25に開口された音響孔は、比較的開口面積の小さな複数個の音響孔31と、比較的開口面積の大きな1個の音響孔36とからなり、音響孔31、36は等間隔で格子状に配置されている。また、ダイアフラム28の幅をLとするとき、開口面積の大きな音響孔36は、対向電極板25においてダイアフラム28の中心と対向する位置を中心とする半径r=L/4の円形領域aの内部に設けている。【選択図】図7
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上に固定され、複数の音響孔を開口された対向電極板と、
前記基板と前記対向電極板との間で、前記対向電極板と空隙をあけて設けられた、音圧に感応する振動電極板と、
を有する音響センサにおいて、
前記音響孔は、複数の第1の音響孔と、前記第1の音響孔よりも開口面積の大きな第2の音響孔とからなり、
前記第2の音響孔は、前記対向電極板において、前記振動電極板の可動部分の中央部に対向する領域に配置されていることを特徴とする音響センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
5D021CC01
, 5D021CC07
, 5D021CC18
, 5D021CC19
引用特許:
出願人引用 (4件)
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小型ブロードバンド変換器
公報種別:公表公報
出願番号:特願2002-519372
出願人:ノールズエレクトロニクス,リミテッドライアビリティカンパニー
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送風機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-408319
出願人:日本電産シバウラ株式会社
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音響検出機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-291176
出願人:住友金属工業株式会社, ホシデン株式会社
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静電型電気音響変換器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-180918
出願人:ホシデン株式会社
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審査官引用 (1件)
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静電型電気音響変換器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-180918
出願人:ホシデン株式会社
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