特許
J-GLOBAL ID:200903050352105735
磁気式エンコ-ダ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
▲吉▼田 繁喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-015339
公開番号(公開出願番号):特開2000-213957
出願日: 1999年01月25日
公開日(公表日): 2000年08月04日
要約:
【要約】【課題】 磁気検出素子の微細・小型化、高磁界中での磁気測定、高周波対応が可能であり、また、温度変化による出力変化が小さく、しかも汚れなどの影響を受けない高感度、高出力、高分解能の安価な磁気式エンコーダを提供する。【解決手段】 等間隔に着磁された複数の磁極を有する磁気記録媒体10,10aと、該磁気記録媒体の磁気パターンを検出する磁気検出素子1,1aを有する磁気検出器とを備えてなる磁気式エンコーダにおいて、上記磁気検出素子が巨大磁気抵抗材料の薄膜を用いた巨大磁気抵抗素子からなる。磁気検出素子は、好適には、基板2上に直接又は絶縁層を介して形成された巨大磁気抵抗材料の薄膜3及びその一方の端部に接続された第一の電極薄膜4と、これら巨大磁気抵抗材料の薄膜及び第一の電極薄膜の上部に絶縁層5を介して形成され、かつ上記巨大磁気抵抗材料の薄膜の他方の端部に接続された第二の電極薄膜6とからなる積層膜の構造とする。
請求項(抜粋):
等間隔に着磁された複数の磁極を有する磁気記録媒体と、該磁気記録媒体の磁気パターンを検出する磁気検出素子を有する磁気検出器とを備え、該磁気検出素子を上記磁気記録媒体の磁界が作用する範囲内で相対移動自在に対向して配設してなる磁気式エンコーダであって、上記磁気検出素子が巨大磁気抵抗材料の簿膜を用いた巨大磁気抵抗素子からなることを特徴とする磁気式エンコーダ。
IPC (4件):
G01D 5/245
, G01B 7/00
, G01R 33/09
, H01L 43/08
FI (5件):
G01D 5/245 R
, G01D 5/245 Y
, G01B 7/00 J
, H01L 43/08 Z
, G01R 33/06 R
Fターム (32件):
2F063AA01
, 2F063AA35
, 2F063AA50
, 2F063BC02
, 2F063BC05
, 2F063BD11
, 2F063BD16
, 2F063CA09
, 2F063CA34
, 2F063CA40
, 2F063DA19
, 2F063EA02
, 2F063EA03
, 2F063GA55
, 2F063LA11
, 2F063LA30
, 2F077AA25
, 2F077AA41
, 2F077NN04
, 2F077NN05
, 2F077NN17
, 2F077NN24
, 2F077PP14
, 2F077TT87
, 2G017AA01
, 2G017AB01
, 2G017AB05
, 2G017AD21
, 2G017AD53
, 2G017AD55
, 2G017AD63
, 2G017AD65
引用特許:
審査官引用 (7件)
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磁気式位置、回転検出用素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-224283
出願人:松下電器産業株式会社
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回転速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-108179
出願人:トヨタ自動車株式会社
-
磁気情報検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-328678
出願人:ソニー株式会社, ソニーマグネスケール株式会社
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