特許
J-GLOBAL ID:200903050379476646
レジスト用重合体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
宮崎 昭夫
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-140072
公開番号(公開出願番号):特開2005-320451
出願日: 2004年05月10日
公開日(公表日): 2005年11月17日
要約:
【課題】 有機溶媒に対する溶解性に優れるレジスト用重合体を製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】 重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得、再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを混合して重合体を析出させた後、重合体を分離し、重合体の含液率10%以上の領域では、レジスト用重合体の粉末温度が-30〜40°Cとなるように制御して重合体を乾燥させ、重合体の含液率10%未満(0%も含む)の領域では、レジスト用重合体の粉末温度がレジスト用重合体の含液率10%以上の領域におけるレジスト用重合体の粉末温度よりも高温で、かつ、30〜70°Cとなるように制御して重合体を乾燥させる。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
重合体の含液率10%以上の領域では、レジスト用重合体の粉末温度が-30〜40°Cとなるように制御して重合体を乾燥させ、
重合体の含液率10%未満(0%も含む)の領域では、レジスト用重合体の粉末温度がレジスト用重合体の含液率10%以上の領域におけるレジスト用重合体の粉末温度よりも高温で、かつ、30〜70°Cとなるように制御して重合体を乾燥させるレジスト用重合体の乾燥方法。
IPC (4件):
C08F6/06
, G03F7/032
, G03F7/039
, H01L21/027
FI (4件):
C08F6/06
, G03F7/032
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
Fターム (52件):
2H025AA00
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB08
, 2H025CB41
, 2H025CB52
, 2H025FA17
, 4J100AJ02R
, 4J100AL03P
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100AL74P
, 4J100BA03P
, 4J100BA03Q
, 4J100BA03R
, 4J100BA04P
, 4J100BA04Q
, 4J100BA05P
, 4J100BA05Q
, 4J100BA06P
, 4J100BA06Q
, 4J100BA10P
, 4J100BA10Q
, 4J100BA11Q
, 4J100BA16P
, 4J100BA16Q
, 4J100BA27P
, 4J100BA27Q
, 4J100BA40Q
, 4J100BA40S
, 4J100BC08S
, 4J100BC09P
, 4J100BC09R
, 4J100BC09S
, 4J100BC12P
, 4J100BC12S
, 4J100BC53Q
, 4J100BC58Q
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100FA19
, 4J100GC25
, 4J100JA38
引用特許:
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