特許

J-GLOBAL ID：200903088650619790

レジスト用重合体の製造方法

発明者： 兼子 功 ,  稲葉 秀之 ,  桑野 英昭 ,  脇阪 幸也
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-139853
公開番号（公開出願番号）：特開2005-320444
出願日： 2004年05月10日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】 重合体を粉体で容易に安定して回収することができ、重合体中に残存する単量体および溶剤が少ないレジスト用重合体を製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】 重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得、再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを、全溶媒のSP値が30〜35[MPa1/2]になるように混合して重合体を析出させてレジスト用重合体を製造する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

重合することにより目的とする重合体の構成単位となる単量体を溶剤中で溶液重合して、目的とする重合体を含む溶液を得る重合工程と、 再沈殿溶媒と前記重合体を含む溶液とを、全溶媒のSP値が30〜35[MPa1/2]になるように混合して重合体を析出させる再沈殿工程と を有するレジスト用重合体の製造方法。

IPC (2件)：

C08F6/12 ,  G03F7/039

FI (2件)：

C08F6/12 ,  G03F7/039 601

Fターム (16件)：

2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB41 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA03 ,  4J100FA19 ,  4J100GC16 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-186493   出願人：ダイセル化学工業株式会社
• 化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法および化学増幅型レジスト用樹脂
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-022227   出願人：三菱レイヨン株式会社

審査官引用 (3件)

• アクリル系単量体の重合方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-279194   出願人：ダイセル化学工業株式会社
• 連動引戸ユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-268122   出願人：アトムリビンテック株式会社, 磯川産業株式会社
• フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-185580   出願人：ダイセル化学工業株式会社