特許

J-GLOBAL ID：200903050550185701

ダイシング用粘着シート

発明者： 山本 昌司 ,  橋本 浩一 ,  新谷 寿朗
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-181744
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005436
出願日： 2005年06月22日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：

【課題】 エキスパンド工程の際の破断を完全に防止することが可能なダイシング用粘着シート、それを用いた被切断体の加工方法及びその方法により得られる被切断体小片を提供する。【解決手段】 基材1の少なくとも片面に粘着剤層2を有して構成され、被切断体の加工の際に用いるダイシング用粘着シート11であって、前記基材1の引張弾性率が50〜250MPaであり、破断伸度が200%以上であり、下記式で表される耐切込度が2.5以上であることを特徴とする。【数1】【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材の少なくとも片面に粘着剤層を有して構成され、被切断体の加工の際に用いるダイシング用粘着シートであって、 前記基材の引張弾性率が50〜250MPaであり、破断伸度が200%以上であり、下記式で表される耐切込度が2.5以上であることを特徴とするダイシング用粘着シート。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00

FI (3件)：

H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00

Fターム (32件)：

4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB04 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CD08 ,  4J004CD09 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040DF041 ,  4J040FA001 ,  4J040FA131 ,  4J040FA231 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA14 ,  4J040GA19 ,  4J040GA22 ,  4J040HB18 ,  4J040JB02 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA13 ,  4J040LA06 ,  4J040MA10 ,  4J040MA11 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ウェハ貼着用粘着シートおよびウェハダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-321836   出願人：リンテック株式会社
• ウェハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203129   出願人：リンテック株式会社
• ダイシングテ-プ及びダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-225240   出願人：リンテック株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開平3-066772
  
• 特開平4-196342
  
• 半導体ウェハー固定用粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-016101   出願人：古河電気工業株式会社
• ダイシング用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-000344   出願人：グンゼ株式会社