特許
J-GLOBAL ID：200903050708793194
導電性プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-043282
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240598
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 導電性プローブの先端の変形を抑え、耐磨耗性を高くする。【構成】 可撓性の板バネ2と、板バネ2の試料が配置される面に形成された探針3と、を有するプローブにおいて、板バネ2の探針3が形成されている面であり、少なくとも探針3の先端を含む領域に金属窒化物、金属炭化物または金属炭窒化物からなる導電性層4を設ける。
請求項（抜粋）：
可撓性の板バネと、前記板バネの試料が配置される面に形成された探針と、を有するプローブにおいて、前記板バネの前記探針が形成されている面であり、少なくとも前記探針の先端を含む領域に金属窒化物、金属炭化物または金属炭窒化物からなる導電性層を設けたことを特徴とする導電性プローブ。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, G01R 1/067
G01N 37/00 B
, G01N 37/00 G
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, G01R 1/067 A
