光学素子冷却装置、光学素子冷却方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡部温 , 柳瀬睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-184512
公開番号（公開出願番号）：特開2004-029314
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】光学素子を冷却して温度上昇を抑制し、光学素子の変形や位置変化を抑制することのできる光学素子保持機構等を提供する。【解決手段】ミラー1の裏面1b側に配置されたミラー冷却装置10は、受熱板3、冷却機構5(ヒートパイプ4・水冷ジャケット6)、防熱機構8(加熱装置7及び第2受熱板9)からなる。受熱板3は、ミラー1の反射面1a以外の部分に沿って非接触で近接配置されている。受熱板3は、高輻射率・高熱伝導率の金属又はセラミックス製(例えばAl2O3等)の薄板から形成されている。受熱板3の表面又は表面の一部には、ミラー1から受熱板3への熱輻射率を高めるための加工が施されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光学素子の光の入射・出射しない面に沿って近接配置された、該光学素子から熱輻射を受ける受熱板と、該受熱板を冷却する冷却手段と、を具備することを特徴とする光学素子冷却装置。

IPC (6件)：

G02B5/08 , G02B17/08 , G03F7/20 , G21K1/06 , G21K5/02 , H01L21/027

FI (7件)：

G02B5/08 F , G02B17/08 A , G03F7/20 521 , G21K1/06 P , G21K5/02 X , H01L21/30 502H , H01L21/30 531A

Fターム (18件)：

2H042AA25 , 2H042DA10 , 2H042DA12 , 2H042DA16 , 2H042DB02 , 2H042DB06 , 2H042DB13 , 2H087KA21 , 2H087TA01 , 2H087TA02 , 2H087TA06 , 5F046CB02 , 5F046CB12 , 5F046DA26 , 5F046GA02 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GB02

引用特許：

審査官引用 (4件)

温調装置及び走査型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-267824 出願人：株式会社ニコン
投影リソグラフィシステム用の透過マスク及びマスク露光システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-141043 出願人：アイエムエス-イオネンミクロファブリカツィオーンズィステーメゲエムベハー
露光装置および露光方法ならびにデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-094315 出願人：株式会社ニコン

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