特許
J-GLOBAL ID：200903050956415945
IC試験装置のタイミング校正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-102461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289910
出願日： 2000年04月04日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 IC試験装置のタイミング校正を精度よく行うことができるタイミング校正装置を提案する。【解決手段】 被試験ICを装着するICソケットの各ピンに順次接触するプローブを設けIC試験装置からICソケットに供給した校正パルスをプローブで取り出し、この取り出した校正パルスを基準タイミングと比較してドライバ系のタイミング校正を行うと共に、プローブで校正パルスを発生させ、この校正パルスをICソケットの各ピンに順に供給し、各チャンネルのコンパレータのタイミングを校正する。プローブには電気信号を光信号に変換する光変調器と、光駆動型ドライバを設置し、キャリブレーションコントローラとプローブとの間を光信号で接続して構成する。
請求項（抜粋）：
被試験ICを装着して試験を行うソケットにコンタクトボードを装着し、このコンタクトボードに形成した電気パッドにプローブを順次接触させ、このプローブを通じて上記ICソケットに印加される校正パルスを取り出し、この校正パルスのタイミングをIC試験装置に備えたタイミング計測手段で計測して上記ICソケットに校正パルスを与えたドライバ系の信号伝搬時間を基準値に合わせ込むと共に、上記プローブから基準位相を持つ校正パルスを上記コンタクトボードを通じて上記ICソケットに接続されているコンパレータに校正パルスを与え、この校正パルスの予め定めたタイミングに上記コンパレータに与えられるストローブパルスの印加タイミングを合致させてタイミング校正を行うIC試験装置において、上記プローブに光駆動型ドライバを設け、この光駆動型ドライバに上記IC試験装置から光駆動信号を与えることによりこの光駆動型ドライバから上記コンタクトボードを通じて上記ICソケットに校正パルスを印加する構成としたことを特徴とするIC試験装置のタイミング校正装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 35/00 L
, G01R 31/28 H
2G032AA07
, 2G032AC03
, 2G032AD06
, 2G032AE07
, 2G032AE08
, 2G032AE10
, 2G032AF01
, 2G032AG04
, 2G032AG07
, 2G032AH04
, 2G032AL00
