特許

J-GLOBAL ID：200903050957580001

設計データに基づく図形データ展開装置

発明者： 磯村 育直 ,  土屋 英雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254987
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104168
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ビット展開回路を多値化することで、見かけ上の回路の動作速度を向上させ、斜め線処理におけろ誤差を改善して精度を向上させる図形データ展開装置を提供する。【構成】図形設計データを読み込み、図形形状、図形位置、図形寸法を解読し、その出力データを適当な寸法を単位とするマス目に割り付けるに当たり、処理している図形が存在するマス目ごとにそのマス目を占める割合を求め、占有率データを出力する図形展開回路(119) と、図形展開回路(119) が発生する占有率データをある一定の範囲分保持するパターンメモリ(115) と、各マス目の占有率データを読み出すパターンメモリ読み出し回路(121) とで構成される。

請求項（抜粋）：

図形設計データを読み込み、図形形状、図形位置、図形寸法を解読し、解読出力データを適当な寸法を単位とするマス目に割り付けるに当たり、処理している図形が存在するマス目ごとにそのマス目を占める割合を求め、占有率データを出力する図形展開手段と、前記図形展開手段が発生する占有率データをある一定の範囲分保持するパターンメモリ手段と、各マス目の占有率データを読み出すパターンメモリ読み出し手段とを具備したことを特徴とする図形データ展開装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G03F 1/08 ,  G06F 17/50 ,  H01L 21/82

FI (6件)：

G01N 21/88 E ,  G01B 11/24 F ,  G03F 1/08 S ,  G06F 15/60 658 M ,  G06F 15/60 670 ,  H01L 21/82 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 画像データ比較装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-049264   出願人：富士通株式会社
• パターン欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-105673   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-034434
  
• パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-041489   出願人：株式会社東芝