特許

J-GLOBAL ID：200903050989396822

チタン錯体およびその合成方法

発明者： 佐藤 善美
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009797
公開番号（公開出願番号）：特開平11-255784
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 熱安定性、気化安定性の良好な新規なチタン錯体を提供する。またそれを簡便な方法で収率よく合成できる方法を提供する。【解決手段】 下記一般式(I):【化1】(式中、R1は直鎖または分枝の炭素原子数1〜15のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基であり、dpmはジピバロイルメタン残基である)で表わされるチタン錯体。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I):【化1】(式中、R1は直鎖または分枝の炭素原子数1〜15のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルケニレン基であり、dpmは次式:【化2】で表わされるジピバロイルメタン残基を表わす)で表わされるチタン錯体。

IPC (3件)：

C07F 7/28 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/285 301

FI (3件)：

C07F 7/28 F ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/285 301 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• β-ジケトン化合物とIV族金属のグリコラートとの錯体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-267387   出願人：旭電化工業株式会社
• 高純度チタン錯体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-067441   出願人：日本酸素株式会社
• 高純度Ti錯体及びその製造方法並びにBST膜形成用液体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-194875   出願人：三菱マテリアル株式会社