レーザ照射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276464
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125614
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】大きいパルス幅のレーザビームが得られ、しかも小型化されたレーザ照射装置を提供する。【解決手段】レーザ光源11、12と、タイミング制御装置20と、全反射ミラー21、22、23、25と、選択反射ミラー24と、レーザビーム形成部30とを備える。レーザ光源12のパルス発振のタイミングをレーザ光源11のパルス発振のタイミングよりも所定時間遅くするようにタイミング制御装置20によって制御する。レーザ光源11からのレーザビーム61とレーザ光源12からのレーザビーム62とは選択反射ミラー24の箇所で時間的に連続しパルス幅が大きい単一のレーザビーム63となって試料に照射される。

請求項（抜粋）：

第1のレーザビームをパルス発振する第1のレーザ光源と、第2のレーザビームをパルス発振する第2のレーザ光源であって前記第1のレーザ光源とは異なる第2のレーザ光源と、前記第1のレーザ光源による第1のレーザビームの発振後所定の時間経過後に前記第2のレーザ光源による第2のレーザビームを発振させるべく、前記第1のレーザ光源のパルス発振と前記第2のレーザ光源のパルス発振との間のタイミングを制御可能なタイミング制御手段と、前記第1のレーザビームと前記第2のレーザビームとを被照射物の同一の被照射箇所に照射可能な光学系と、を備えることを特徴とするレーザ照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/268 , B01J 19/12 , C23C 16/48 , C30B 31/20

FI (4件)：

H01L 21/268 B , B01J 19/12 B , C23C 16/48 , C30B 31/20

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-267578
特開平4-267578
レーザ熱処理方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-229370 出願人：株式会社東芝

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