特許
J-GLOBAL ID：200903051092668206

ウェファー位置決め装置

発明者：
クズネトソフ,ウラデイミル・イワノビチ

クズネトソフ,ウラデイミル・イワノビチ について

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ラデラール,ジーブラント

ラデラール,ジーブラント について

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バン・デル・サンデン,ヤコブス・コルネリス・ゲラルドウス

バン・デル・サンデン,ヤコブス・コルネリス・ゲラルドウス について

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ルイール,テオ・アンジエス・マリア

ルイール,テオ・アンジエス・マリア について


出願人/特許権者：
エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ

エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ について

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コニンクリーケ・フイリツプス・エレクトロニクス・エヌ・ブイ

コニンクリーケ・フイリツプス・エレクトロニクス・エヌ・ブイ について


代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-594140
公開番号（公開出願番号）：特表2003-511847
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：
【要約】ウェファーを浮動状態で収納するための装置。本装置は、互いに対向して、ウェファーを載置するチェンバーの境界を規定する、2つの部分を具備する。両側からガスが供給されることにより、ウェファーは浮動位置で保持される。ウェファーが横方向境界に触れるのを防ぐために、ウェファーが収納されるチェンバーの円周近くに、少なくとも部分的にガスの排出部を設けることが提案される。この排出部は、ウェファーが所定位置からガス排出部に向けて移動した場合、前記ガス排出部を閉鎖することにより、圧力が局部的に高まり、反対方向に作用する力が生じてウェファーを所定位置に戻すように作られる。
請求項（抜粋）：
ウェファー(10,48)の処理あるいは運搬などを目的として浮動状態で収納するための装置(11,21,40)であって、ウェファーを浮動状態に保つために少なくとも下側に処理ガス供給開口部(14,24)が設けられた収納チェンバー(19,29)を具備し、前記装置には少なくともその端部の一つの近辺にウェファー位置決め手段が設けられており、前記位置決め手段は、前記収納チェンバー内に開口するガス排出部(17,27,37,44,54)とガス供給部を具備することで、前記ウェファーが所定の位置からずれた場合、ずれが生じた方向側にある前記ウェファーの側部において、ガス排出部とガス供給部間の流動抵抗(flow resistance)が増大し、その結果、圧力増によってウェファーが所定位置に押し戻されることを特徴とする装置。
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA62 ,  5F031GA63 ,  5F031HA01 ,  5F031JA01 ,  5F031JA47 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031KA15 ,  5F031NA01 ,  5F031PA02 ,  5F031PA04 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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