特許
J-GLOBAL ID:200903051162644946

電子装置およびそのダイシング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-041996
公開番号(公開出願番号):特開2002-246336
出願日: 2001年02月19日
公開日(公表日): 2002年08月30日
要約:
【要約】【課題】一枚の母基板に作り込まれた複数個の電子部品の分離、ダイシングのダイシング精度を高める。【解決手段】セラミック母基板11の主面上にトランジスタ等の電子素子が実装された電子部品12を縦横に配置する。主面と反対の面には電子部品の下部電極19,20,27及び28(端子電極)を配設する。相隣接する電子部品12同士を画定するように下部電極間にダイシングの認識に用いる認識マーク30を配設する。
請求項(抜粋):
母基板の主面に、少なくとも1つの電子素子からなる電子部品を縦横に複数個配置して前記主面を樹脂で被覆し、前記主面と反対側の前記母基板の面に前記電子部品の電極を配設し、前記母基板上で前記樹脂が形成されない領域に前記電子部品同士を分離・分割するために認識する認識マークを備えたことを特徴とする電子装置。
FI (2件):
H01L 21/78 L ,  H01L 21/78 Q
引用特許:
審査官引用 (4件)
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