半導体試験装置のICハンドラ装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175773
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004702
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】ICハンドラ装置に備えるピック&プレース機構におけるDUTの配置不完全状態を検出する手段を備える半導体試験装置のICハンドラ装置を提供する。【解決手段】複数チャンネルの吸着ヘッド部を配列して備える半導体試験装置のICハンドラ装置において、インサート内の定位置の高さにDUTが配置されていない状態を配置不完全状態としたとき、ローディング時において、複数個のDUTの何れかが配置不完全状態を生じたとき、吸着ヘッド部が正常時の停止高さ位置とは異なる位置状態を検出して電気信号に変換する位置ずれ検出手段を備える半導体試験装置のICハンドラ装置。

請求項（抜粋）：

半導体試験装置のICハンドラ装置内に複数チャンネルの吸着ヘッド部を配列して備えるピック&プレース機構と、デバイス搬送用のテストトレイ上に装着されている複数個のインサートとを備え、複数チャンネルの該吸着ヘッド部は連動して同時に動作し、各々被試験デバイス(DUT)を吸着保持して上下方向に移送し、対応する該インサート内の定位置へ持ち下げ配置(ローディング)するピック&プレース機構を備える半導体試験装置のICハンドラ装置において、該インサート内の定位置の高さにDUTが配置されていない状態を配置不完全状態としたとき、ローディング時において、複数個のDUTの何れかが配置不完全状態を生じたとき、当該吸着ヘッド部が正常時とは異なる位置に留まり、この異常な停止状態を検出して電気信号に変換する停止位置ずれ検出手段を備えることを特徴とする半導体試験装置のICハンドラ装置。

IPC (2件)：

G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/26 Z , H01L 21/66 G

Fターム (12件)：

2G003AA07 , 2G003AG11 , 2G003AG13 , 2G003AG16 , 2G003AH01 , 4M106AA02 , 4M106BA04 , 4M106CA50 , 4M106CA52 , 4M106DG03 , 4M106DG16 , 4M106DG19

引用特許：

審査官引用 (6件)

自動テストハンドラー用ピック・プレース装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-345638 出願人：シン-テクシステムズインコーポレイティド, 株式会社アドバンテスト
半導体装置搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-329271 出願人：ソニー株式会社
特開平1-097589

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