化学増幅型放射線感受性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177305
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010738
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、高感度であり、クオーターミクロン以下の高解像性を有し、かつ耐熱性、焦点深度幅特性、露光余裕度が高く、引置き経時安定性に優れ、基板依存性がなくプロファイル形状の優れたレジストパターンを形成できる化学増幅型放射線感受性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)水酸基を持たない分子量500以下の非縮合多環式化合物を含有するとともに、さらに有機カルボン酸及びアミンやN,N-ジアルキルカルボン酸アミドアミンを含有してもよい化学増幅型放射線感受性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(C)水酸基を持たない分子量500以下の非縮合多環式化合物を含有することを特徴とする化学増幅型放射線感受性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (6件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-245299 出願人：株式会社東芝
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-073169 出願人：日本合成ゴム株式会社
乾式現像可能なフォトレジスト組成物およびその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-305898 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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