特許

J-GLOBAL ID：200903051270673707

透過電子顕微鏡の高精度な軸調整方法及びその装置

発明者： 石塚 和夫 ,  木本 浩司 ,  松井 良夫 ,  板東 義雄
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-020121
公開番号（公開出願番号）：特開2005-216612
出願日： 2004年01月28日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【目的】透過型電子顕微鏡において結晶性試料を用いて軸調整を行うことを目的とする。【構成】入射電子1により微少領域を照射された結晶性試料4を、正焦点試料位置3からはずして設定し、正焦点試料位置3の共役面においてTEM像7を観察する。結晶性試料のブラッグ回折像8は収差によりガウス像からずれる。このずれから収差係数を推定し、軸調整を行う手法およびその装置により構成される。結晶性の試料で軸調整できることから、従来手法と比べ、その場での軸調整が可能である。その結果、即時性に優れているとともに、高分解能像を観察する条件での軸調整が行える。また、本方法は多極子球面収差補正子の調整を迅速かつ容易にし、球面収差の普及に必須であると考えられる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料の微少領域に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、前記電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折像の位置情報より、対物レンズのコマフリー軸調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。

IPC (3件)：

H01J37/26 ,  H01J37/04 ,  H01J37/153

FI (3件)：

H01J37/26 ,  H01J37/04 B ,  H01J37/153 A

Fターム (8件)：

5C030AA07 ,  5C030AB01 ,  5C033HH01 ,  5C033HH02 ,  5C033HH05 ,  5C033SS01 ,  5C033SS02 ,  5C033SS06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭60-167248号(特公平03-39378号、特許1672379号)公報
  
• 特開昭60-91540号公報
  
• 特公平03-78738号公報
  
• 透過電子顕微鏡の軸調整方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-394636   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構

審査官引用 (3件)

• 透過電子顕微鏡の軸調整方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-394636   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構
• 透過電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-169791   出願人：日本電子株式会社
• 透過電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-169792   出願人：日本電子株式会社