特許

J-GLOBAL ID：200903053626797069

透過電子顕微鏡の軸調整方法およびその装置

発明者： 木本 浩司 ,  松井 良夫
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-394636
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197142
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 透過型電子顕微鏡におけえるコマフリー軸調整法の改良。【構成】 本発明で提供されるコマフリー軸調整法では、1枚のTEM像を観察し、TEM像を見ながら、入射電子の方向を調整すれば良い。例えば、一つの実施例では、透過電子が形成する透過スポットが、散乱電子による火面の中心と一致するように、入射電子の傾斜角度を調整すれば良い。本発明の原理を利用するために最低限必要な装置は、入射電子を微小に収束する装置、焦点をはずしたTEM像を形成する装置、およびTEM像を観察する装置である。

請求項（抜粋）：

試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡像中に観察される火面の中心に、透過電子によるスポットが位置するように、前記入射電子の入射方向を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。

IPC (2件)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/04

FI (2件)：

H01J 37/153 A ,  H01J 37/04 B

Fターム (5件)：

5C030AA06 ,  5C030AA07 ,  5C030AB01 ,  5C033HH01 ,  5C033HH02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-010085   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭57-176658
  
• 荷電粒子線装置の開口と光軸の軸合わせ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-012621   出願人：株式会社ニコン
• 特公平3-078738