特許
J-GLOBAL ID：200903051339518741
フィールドエミッションディスプレイを排気、封止する方法及びその方法により形成されるパッケージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259425
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171768
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【解決課題】 低コストで、かつ信頼性の高い真空封止を与え、なおかつ商業的に行われている製造プロセス上の操作にも適合したフィールドエミッションディスプレイ(FED)パッケージを排気し封止する改良法及び改良されたFEDパッケージの提供。【解決手段】 FEDの第一プレートと第二プレートとを分離し、その間の空間を排気するための流路が得られように第一プレートと第二プレートとの間に複数の圧縮可能な突起を形成し、減圧した反応室内に第一及び第二のプレートを置き、前記空間を排気し、封止リング及び圧縮可能な突起を圧縮して該突起を変形させ、排気された空間の回りに連続封止を形成する。
請求項（抜粋）：
第一プレートを形成する工程;第一プレートと対になりこれに係合する第二プレートを形成する工程;第一プレートと第二プレートとの間に流動性材料からなる封止リングを形成する工程;第一プレートと第二プレートとを分離し、その間の空間を排気するための流路が得られように第一プレートと第二プレートとの間に複数の圧縮可能な突起を形成する工程;減圧した反応室内に第一及び第二のプレートを置き、前記空間を排気する工程;及び封止リング及び圧縮可能な突起を圧縮して該突起を変形させ、排気された空間の回りに連続封止を形成する工程を含む、パッケージを排気、封止するための方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02
, H01J 9/385
, H01J 9/40
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 9/385 A
, H01J 9/40
, H01J 31/12 C
