特許
J-GLOBAL ID:200903051480182676
半導体発光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮園 博一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-337701
公開番号(公開出願番号):特開2005-108982
出願日: 2003年09月29日
公開日(公表日): 2005年04月21日
要約:
【課題】良好なオーミック接触を得ながら、表面プラズモンの効果を得ることが可能な半導体発光素子を提供する。【解決手段】この半導体発光素子は、MQW発光層4上に形成されたMgドープGa0.95In0.05Nからなるp型コンタクト層7と、p型コンタクト層7上に形成され、p型コンタクト層7に対して良好なオーミック特性を有するPdからなるオーミック電極8と、オーミック電極8上に形成され、オーミック電極8よりもプラズマ周波数の高い金属(Ag)からなるとともに、周期構造を有する電極9とを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
発光層上に形成された半導体層と、
前記半導体層上に形成された第1電極層と、
前記第1電極層上に形成され、周期的な構造を有する第2電極層とを備え、
前記第1電極層は、前記第2電極層よりも前記半導体層に対するオーミック接触が良好であり、
前記第2電極層は、前記第1電極層よりもプラズマ周波数の高い金属を含む、半導体発光素子。
IPC (3件):
H01L33/00
, H01L21/28
, H01S5/042
FI (4件):
H01L33/00 E
, H01L21/28 301B
, H01L21/28 301R
, H01S5/042 612
Fターム (31件):
4M104AA04
, 4M104AA06
, 4M104BB02
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104DD16
, 4M104DD24
, 4M104DD34
, 4M104DD68
, 4M104FF11
, 4M104FF13
, 4M104FF17
, 4M104FF18
, 4M104GG04
, 4M104HH15
, 4M104HH20
, 5F041AA03
, 5F041AA24
, 5F041CA82
, 5F041CA92
, 5F041CA93
, 5F073AA61
, 5F073CB22
, 5F073DA30
, 5F073EA23
, 5F073EA24
引用特許:
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