特許
J-GLOBAL ID:200903051593956309
イメージセンサー及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 均
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-520988
公開番号(公開出願番号):特表2006-528424
出願日: 2004年03月30日
公開日(公表日): 2006年12月14日
要約:
本発明は、光伝素子1を具備した基板3、及び該基板3の光が入射する側に具備されていて、入射光を前記基板3上に入射するように光路変換する光路変換素子配列を含んで成り立ち、イメージセンサーの中心との距離によって入射光の入射角が互いに異なることを補うために、各光路変換素子はイメージセンサーの中心との距離によって入射面の対応部位の接線の傾きが互いに異なることを特徴とするイメージセンサーを提供する。また、本発明は、前述したイメージセンサーを製作するための方法を提供する。それによると、グレースケールマスク14を利用したフォトリゾグラフィー工程だけを利用したり、それと共に反応性イオンエッチング工程との組み合わせ工程を利用したり、さらにそれらと共に紫外線硬化成形工程との組み合わせ工程を利用して前記光路変換素子を製作する。 【選択図】図12
請求項(抜粋):
光伝素子を具備した基板と、及び前記基板の光が入射する側に具備されていて、入射光を前記基板上に入射するように光路変換する光路変換素子配列とを有しているイメージセンサーであって、イメージセンサーの中心との距離によって入射光の入射角が互いに異なることを補うために、各光路変換素子は、イメージセンサーの中心との距離によって入射面の対応部位の接線の傾きが互いに異なることを特徴とするイメージセンサー。
IPC (4件):
H01L 27/14
, H04N 5/335
, G02B 5/04
, G02B 5/08
FI (4件):
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
, G02B5/04 F
, G02B5/08 Z
Fターム (19件):
2H042AA02
, 2H042AA03
, 2H042AA20
, 2H042AA32
, 2H042CA12
, 2H042CA17
, 2H042DB08
, 2H042DB14
, 4M118AA01
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA26
, 4M118FA06
, 4M118GD04
, 4M118GD13
, 5C024EX43
, 5C024EX47
引用特許:
前のページに戻る