特許
J-GLOBAL ID：200903051630271923

調整可能な静電チャックのための可変温度方法

発明者：
カンプ トム エイ

カンプ トム エイ について

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ゴットショ リチャード

ゴットショ リチャード について

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リー スティーヴ

リー スティーヴ について

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リー クリス

リー クリス について

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ヤマグチ ヨウコ

ヤマグチ ヨウコ について

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ヴァヘディ ヴァヒド

ヴァヘディ ヴァヒド について

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エップラー アーロン

エップラー アーロン について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレイション

ラム リサーチ コーポレイション について


代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-582806
公開番号（公開出願番号）：特表2005-522051
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
ウエハをエッチングするエッチング処理装置は、該ウエハを保持するチャックと、該ウエハの温度を知らせる温度センサとを含む。チャックは、温度制御システムによって制御されるヒータを含む。温度センサは、温度制御システムに作動的に結合されて、チャックの温度を選択可能な設定温度で維持する。第1の設定温度及び第2の設定温度を選択する。ウエハをチャック上に配置し、第1の設定温度に設定する。次に、ウエハを、第1の設定温度で第1の時間だけ処理し、第2の設定温度で第2の時間だけ処理する。
請求項（抜粋）：
ウエハを保持するチャックと、該ウエハの温度を知らせる温度センサとを備え、該チャックが温度制御システムにより制御されるヒータを備え、該温度センサが該温度制御システムに作動的に結合されて、該チャックの温度を選択可能な設定温度に維持するようになったエッチング処理装置内でウエハをエッチングする方法であって、 第1の設定温度と第2の設定温度とを選択する工程、 ウエハをチャック上に配置する工程、 前記チャックの温度を、前記第1の設定温度に設定する工程、及び、 前記ウエハをある時間処理している間に、前記チャックの温度を前記第1の設定温度から前記第2の設定温度に移行させる工程 を含むことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
H01L21/3065
FI (1件)：
H01L21/302 101G
Fターム (8件)：
5F004AA05 ,  5F004BA04 ,  5F004BA20 ,  5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F004CA04 ,  5F004EA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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