特許
J-GLOBAL ID:200903051651174383

剥離作業性に優れた感光性カバーレイフィルム

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-335928
公開番号(公開出願番号):特開2003-140333
出願日: 2001年11月01日
公開日(公表日): 2003年05月14日
要約:
【要約】【課題】感光性カバーレイフィルムは、使用時に保護フィルムや支持体フィルムを剥離したりする必要があるが、感光性フィルムへの剥離強度が強すぎると、剥離時に無理な力がかかって、感光性フィルムがシワになったり、感光性フィルムを積層される側の基板に傷がついたりしやすいという問題があった。【解決手段】感光性フィルムに対して剥離性の良好な保護フィルムおよび支持体フィルムを用いることにより、使用時に保護フィルムを容易に剥離でき作業性が向上する。また、パターン露光後に支持体フィルムを剥離する際に無理な力を加える必要がないので、感光性フィルムや基板を傷つけることがなくなる。
請求項(抜粋):
支持体フィルム、感光性フィルムを積層してなる二層構造シートであって、支持体フィルムと感光性フィルムとの剥離強度が、0.5Pa・m以上かつ200Pa・m以下であることを特徴とする感光性カバーレイフィルム。
IPC (7件):
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/38 501 ,  H05K 3/28
FI (7件):
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/38 501 ,  H05K 3/28 F
Fターム (31件):
2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA20 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096LA16 ,  5E314AA27 ,  5E314AA33 ,  5E314AA36 ,  5E314BB07 ,  5E314CC15 ,  5E314GG08 ,  5E314GG24
引用特許:
審査官引用 (13件)
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