特許
J-GLOBAL ID：200903051680658101

基板処理装置及び基板搬送手段の位置合わせ方法

発明者：
飯田 成昭

飯田 成昭 について

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伊藤 和彦

伊藤 和彦 について

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木下 道生

木下 道生 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 井上 俊夫 ,  水野 洋美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-171266
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011853
出願日： 2003年06月16日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】処理ユニットに対して基板搬送手段を高精度に位置合わせすること。【解決手段】メイン搬送機構A2を初期位置に位置させ、前記処理ユニットの搬送口41に対して上下方向の位置座標が予め決められている第2の光学的検出用マーク7Bを光センサ6により検出して、初期位置から、メイン搬送機構A2が搬送口に対向する第1の受け渡し位置までの上下方向の補正量を求める。次いで処理ユニットの搬送口41に対して左右方向の位置座標が予め決められている第1の光学的検出用マーク7Aを光センサ6により検出して、初期位置から第1の受け渡し位置までの左右方向の補正角度を求める。次いでメイン搬送機構A2を第1の受け渡し位置に位置させて、当該メイン搬送機構A2を処理ユニット内に進入させ、載置台の所定位置にウエハを受け渡すときの正確な受け渡し位置のデータの取得作業を行う。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
鉛直軸周りに回転自在でかつ進退及び昇降自在な基板搬送手段と、この基板搬送手段の回転方向に沿って配置され、各々複数の処理ユニットを積層してなるタワーと、各処理ユニットの外装筐体に形成され、基板を保持した基板搬送手段を各処理ユニット内に搬入出するための搬送口と、を備え、装置の調整時に処理ユニット内の載置台の所定位置に対する基板搬送手段の受け渡し位置のデータを取得する基板処理装置において、 前記外装筐体の外面に設けられ、前記搬送口に対して左右方向の位置座標が予め決められている第1の光学的検出用マークと、 前記外装筐体の外面に設けられ、前記搬送口に対して上下方向の位置座標が予め決められている第2の光学的検出用マークと、 前記基板搬送手段に設けられ、第1または第2の光学的検出用マークを検出するための光センサと、 この光センサが第1の光学的検出用マークを検出したときの基板搬送手段の位置から予め決められた角度だけ基板搬送手段を回転させ、また第2の光学的検出用マークを検出したときの基板搬送手段の位置から予め決められた移動量だけ基板搬送手段を上下方向に移動させて、基板搬送手段を処理ユニットの搬送口に対向させるプログラムと、前記基板搬送手段が搬送口に対向した後、当該基板搬送手段を処理ユニット内に進入させ、載置台の所定位置に基板を受け渡すときの正確な受け渡し位置のデータの取得作業を行うためのプログラムと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H01L21/027
FI (2件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/30 562
Fターム (29件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031JA05 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA36 ,  5F031JA38 ,  5F031KA20 ,  5F031MA02 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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