特許
J-GLOBAL ID:200903051792014665
テストトレイ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-284869
公開番号(公開出願番号):特開2005-055244
出願日: 2003年08月01日
公開日(公表日): 2005年03月03日
要約:
【課題】 デバイスとソケットの間に機械的な位置決め機構なしにコンタクトを成立させ、デバイス搬送エラーの発生率を低下させ、チェンジキットを安価にするとともに、品種交換の段取りにかかる時間を短縮したテストトレイを実現する。【解決手段】 検査対象デバイスが格納され、ハンドラによって検査位置へ搬送されるテストトレイにおいて、トレイ本体に対して位置決めされて取り付けられたポケットと、トレイ本体に付加されたアライメントマークとを有する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
検査対象デバイスが格納され、ハンドラによって検査位置へ搬送されるテストトレイにおいて、
トレイ本体に対して位置決めされて取り付けられたポケットと、
トレイ本体に付加されたアライメントマークと、
を備えたことを特徴とするテストトレイ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01R31/26 Z
, H01L21/68 U
Fターム (17件):
2G003AA07
, 2G003AG11
, 2G003AG16
, 2G003AH04
, 5F031CA13
, 5F031DA05
, 5F031EA06
, 5F031EA16
, 5F031JA02
, 5F031JA17
, 5F031JA25
, 5F031JA28
, 5F031JA29
, 5F031JA38
, 5F031MA33
, 5F031PA09
, 5F031PA30
引用特許: