特許
J-GLOBAL ID：200903051841166247

電圧測定方法、電気的検査方法、電気的検査装置、半導体装置の作製方法及び素子基板の作製方法

発明者：
▲ひろ▼木 正明

▲ひろ▼木 正明 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-132219
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107136
出願日： 2002年05月08日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】 配線にプローバを立てないで済む、より簡便な検査方法の確立、及び該検査方法を用いる検査装置の提供。【解決手段】 検査用基板が有する1次コイルと、OLEDパネルが有する2次コイルを一定の間隔を空けて重ね合わせ、1次コイルに交流の信号を入力して、電磁誘導により2次コイルに起電力を生じさせる。そして、該起電力を用いてOLEDパネルが有する画素を動作させ、画素電極と検査用電極とを一定の間隔を空けて重ね合わせる。そして、検査用電極において生じた交流電圧をモニターすることで欠陥箇所を検出する。またさらに、検査用電極の位置を変えつつ、検査用電極において生じた交流電圧をモニターすることで、各画素の動作状態を確認するようにしても良い。
請求項（抜粋）：
非接触にて画素が有する配線または回路素子に電圧を印加することで、前記画素が有する画素電極に電圧を印加し、前記画素電極に印加された電圧を非接触で読み取る電圧測定方法。
IPC (5件)：
G01R 31/302 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 338 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14
FI (5件)：
G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 338 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  G01R 31/28 L
Fターム (25件)：
2G132AA20 ,  2G132AD15 ,  2G132AF11 ,  2G132AF16 ,  2G132AL12 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DB01 ,  5C094DB02 ,  5C094EA04 ,  5C094FB01 ,  5C094FB20 ,  5C094HA10 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
  • 回路基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199724   出願人：松下電器産業株式会社
  • プリントコイル・テスタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-287921   出願人：横河電機株式会社
  • 特開平2-183174

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