特許
J-GLOBAL ID：200903028033358927

基板検査用プローブおよび基板検査方法

発明者：
大段 祐二

大段 祐二 について


出願人/特許権者：
オー・エイチ・ティー株式会社

オー・エイチ・ティー株式会社 について


代理人 (1件)： 丸山 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001563
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194405
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 効率よく基板検査を行うことのできる装置を提供する。【解決手段】 基板上のパターン線の一端において所定のパルス信号を印加し、該パターン線の他端で信号を容量結合型プローブにて受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導通を検査する基板検査装置であって、所定の時刻に前記パターン線の一端に検査パルス信号を印加し、受信側では、前記検査パルス信号の印加タイミングを受けて、その印加後に、前記プローブにて検出される受信信号の変化を監視することを特徴とする基板検査方法。
請求項（抜粋）：
基板の第1の主面の上方から近接させてこの基板を非接触で検査するプローブであって、検査信号を基板に放射するために基板側に露出した平面状の第1の電極面を有する出力側導電性プローブ部と、前記出力側導電性プローブ部を絶縁的に支持する支持部材と、この支持部材に支持されながら前記出力側導電性プローブ部から離間した位置に設けられた導電性プローブ部であって、前記基板からの放射波を入力するために前記基板側に露出した平面状の第2の電極面を有する入力側導電性プローブ部と、前記出力側導電性プローブ部の前記第1の電極面以外の第1の部分からの前記検査信号の放射を防ぐと共に、前記入力側導電性プローブ部の前記第2の電極面以外の第2の部分への前記基板からの輻射波を防ぐための電磁シールドとを有した検査用プローブであって、前記電磁シールドは、前記第1の電極面と第2の電極面の夫々を前記基板側へ露出するための開口を有し、前記第1の電極面と第2の電極面と同じ平面上の第2の主面を有することを特徴とする基板検査用プローブ。
IPC (3件)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/302
FI (3件)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 F ,  G01R 31/28 L
Fターム (13件)：
2G011AA01 ,  2G011AA10 ,  2G011AB06 ,  2G011AC00 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G014AA02 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G032AA00 ,  2G032AD08 ,  2G032AF09 ,  2G032AK03
引用特許：
審査官引用 (7件)
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