特許
J-GLOBAL ID：200903051923809340
導波路型光モジュール
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300460
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131539
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 温度変化の影響を受けにくい導波路型光モジュールを提供する。【解決手段】 導波路素子1のクラッド表面の同一面内に、抵抗体ヒータ3a、3bと温度センサ4a、4bとが形成されているので、抵抗体ヒータ3a、3b、温度センサ4a、4b及びアレー導波路型グレーティング光回路9等の温度差が低減される。また、ヒータ3a、3bと温度センサ4a、4bとが半導体プロセスで形成されているので、極微妙な位置調整が可能となり、さらに各部の温度差を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
光学特性に温度依存性のあるアレー導波路型グレーティング光回路がヒータと温度センサとで温度調節される導波路型光モジュールにおいて、上記アレー導波路型グレーティング光回路が形成された導波路素子のクラッド表面の同一面内に、ヒータと温度センサとが半導体プロセスで形成されたことを特徴とする導波路型光モジュール。
Fターム (7件)：
2H047KA12
, 2H047KB06
, 2H047LA01
, 2H047LA18
, 2H047MA01
, 2H047QA07
, 2H047TA00
