塗布液組成物及び塗膜の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-127808
公開番号（公開出願番号）：特開平7-331135
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】ロールコーターあるいはバーコーター等を用いて塗布し、静置して自由表面から乾燥させる方法においても、レベルの均一な塗膜が得られる塗布液組成物、及びそれを用いた塗膜の形成方法を提供する。【構成】塗布液組成物中の溶剤の1部がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピオン酸メチル、および3-エトキシプロピオン酸エチルからなる群から選択された少なくとも2種類の組合せであって、塗布液組成物の溶剤中に占める上記溶剤の和の比率が60〜100重量%で、かつ該溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート+プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート>3-メトキシプロピオン酸メチル+3-エトキシプロピオン酸エチル(重量)の不等式を満足し、30°Cにおける塗布液粘度の範囲が5〜20CPSであることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解した塗布液組成物において、該有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピオン酸メチル、及び3-エトキシプロピオン酸エチルからなる群より選ばれた少なくとも2種を含有し、該塗布液組成物の全溶剤中に占める上記溶剤の和の比率が60〜100重量%で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートの和の重量が、3-メトキシプロピオン酸メチルと3-エトキシプロピオン酸エチルの和の重量より大きく、且つ、該塗布液組成物の30°Cにおける粘度の範囲が5〜20CPSであることを特徴とする塗布液組成物。

IPC (6件)：

C09D 7/12 PSL , C08L101/00 LTB , C09D201/00 PDC , G02F 1/1335 500 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027

引用特許：

出願人引用 (4件)

フオトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-170199 出願人：三菱化成株式会社
特開平4-270346
レジスト塗布組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-197813 出願人：日本合成ゴム株式会社

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審査官引用 (5件)

フオトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-170199 出願人：三菱化成株式会社
特開平4-270346
特開平4-270346

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