特許
J-GLOBAL ID:200903052028277372
切断装置
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
加藤 久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-052061
公開番号(公開出願番号):特開2005-238393
出願日: 2004年02月26日
公開日(公表日): 2005年09月08日
要約:
【課題】ワイヤソーの摩耗状態を検出し、摩耗状態に応じてワイヤソーの供給線速を制御して、切断性能に優れた切断装置を提供する。【解決手段】ワイヤソー1は巻出しボビン31から順次新線が供給されて被切断材35を切断するため、巻取りボビン38に近い側ほどワイヤソー1の摩耗が激しくなるが、ワイヤソー検査装置37を、ガイドローラ34より巻取りボビン38側に配置し、検査装置37の検査結果に基づいて供給速度を調整することで、ワイヤソー1の摩耗状態にあわせた切断条件を設定して切断することが可能となるため、切断性能を高めることができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
芯線の周囲にボンド材によって砥粒を固着したワイヤソーの長手方向に対して80°〜90°の角をなすように略垂直に配置された光源と、この光源からワイヤソーに照射されて透過する光を用いてワイヤソーの画像を撮影するカメラと、前記画像に基づいて少なくともワイヤソー外径、砥粒の個数、砥粒間隔、砥粒の投影面積、ボンド層の厚さを検出してワイヤソーの良否判定を行う演算装置とを有するワイヤソー検査装置を備え、前記ワイヤソー検査装置から得られるワイヤソーの表面状態に関する情報に基づいてワイヤソーの新線供給速度を定めて新線を供給し、被切断材を切断することを特徴とする切断装置。
IPC (4件):
B24B27/06
, B24B49/12
, B28D5/04
, H01L21/304
FI (5件):
B24B27/06 S
, B24B27/06 H
, B24B49/12
, B28D5/04 C
, H01L21/304 611W
Fターム (17件):
3C034AA19
, 3C034BB93
, 3C034CA22
, 3C034CB20
, 3C034DD10
, 3C058AA05
, 3C058AA16
, 3C058AC02
, 3C058BA04
, 3C058BC02
, 3C058DA17
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB03
, 3C069BC03
, 3C069CA04
, 3C069EA02
引用特許: