特許
J-GLOBAL ID：200903052067146404

変位検出装置

発明者：
二本森 辰悟

二本森 辰悟 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-256903
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071535
出願日： 2004年09月03日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 誤作動なく正確に一点において基準点検出できる変位検出装置を提供する。【解決手段】 スケール200には回折格子が設けられ、第2トラック220は、格子ピッチが異なる第1回折格子領域221と第2回折格子領域222とから形成されている。第1回折格子領域221と第2回折格子領域222とは、一のトラック内において第1変化点223を挟んで連続して形成されている。受光手段320は、基板330上に配設され第2トラック220の回折格子からの回折光を受光して原点位置を検出する受光部350を備える。受光部350は、第1回折格子領域221からの1次(または-1次)回折光を受光する位置に配設された第1受光要素351と、第2回折格子領域222からの-1次(または1次)回折光を受光する位置に配設された第2受光要素352と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回折格子を有するスケールと、前記スケールに向けて光を照射する光照明手段および前記回折格子からの回折光を受光する受光手段を有する検出ヘッド部と、前記受光手段から出力される信号を処理する信号処理部と、を備え、前記スケールと前記検出ヘッド部との相対変位量を検出する変位検出装置において、 前記回折格子は、一のトラック内において第1の格子ピッチで形成された第1回折格子領域と、前記第1回折格子領域とは第1変化点を境に連続して形成されているとともに前記第1の格子ピッチとは異なる第2の格子ピッチで形成された第2回折格子領域と、を有し、 前記受光手段は、前記第1回折格子領域にて回折される回折光を受光する位置に配設された第1受光要素と、前記第2回折格子領域にて回折される回折光を受光する位置に配設された第2受光要素と、を有し、 前記信号処理部は、前記第1変化点に照射された光が前記第1回折格子領域と前記第2回折格子領域とにて回折されて生じた回折光を前記第1受光要素と前記第2受光要素とで受光した際に前記第1受光要素と前記第2受光要素とから出力される信号レベルが一致したことを検出する ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (1件)：
G01D 5/38
FI (1件)：
G01D5/38 A
Fターム (11件)：
2F103BA17 ,  2F103BA32 ,  2F103CA04 ,  2F103EA04 ,  2F103EB03 ,  2F103EB16 ,  2F103EB33 ,  2F103EC00 ,  2F103EC03 ,  2F103ED02 ,  2F103FA15
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 光学式エンコーダ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-123248   出願人：株式会社ミツトヨ
審査官引用 (2件)

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