特許
J-GLOBAL ID：200903052194869750

塗布装置及び塗布方法、並びに、塗布ノズル

発明者：
森山 利孝

森山 利孝 について

, 
上山 康博

上山 康博 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-122058
公開番号（公開出願番号）：特開2008-274381
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】微粒子を含むエアロゾルを基板に吹きつけ、構造物を基板上に形成させることによって基板と構造物からなる複合構造物を短時間であり、かつ、大面積に特定のパターンで作製する塗布装置及び塗布方法、並びに、塗布ノズルを提供すること。【解決手段】第1ガスの噴射口の導出部開口での断面積は、同ガスの導入部開口での断面積以上であり、かつ、第2ガスの噴射口の導出部開口での断面積は、同ガスの導入部開口での断面積以上であること。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1ガスと第2ガスを噴射する噴射口を複数備える塗布ノズルと、前記複数の噴射口にガスを供給するガス供給手段と、前記塗布ノズルを内部に保持するチャンバと、前記チャンバ内に配置されかつ基板を保持する保持台と、前記チャンバのガスを排気する排気ポンプを有する塗布装置において、 前記第1ガスと第2ガスを噴射する噴射口は交互に隣接すると共に、第1ガスの噴射口の導出部開口での断面積は、同ガスの導入部開口での断面積以上であり、かつ、第2ガスの噴射口の導出部開口での断面積は、同ガスの導入部開口での断面積以上であること を特徴とする塗布装置。
IPC (1件)：
C23C 24/04
FI (1件)：
C23C24/04
Fターム (9件)：
4F033BA01 ,  4F033BA05 ,  4F033CA02 ,  4F033DA05 ,  4K044BA13 ,  4K044BB10 ,  4K044BB11 ,  4K044CA21 ,  4K044CA23
引用特許：
出願人引用 (3件)

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