基板収納装置及び基板の収納方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹村壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341793
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174109
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】内部で使用されるケミカルフィルタの性能を維持させながら、密閉空間内で半導体基板が持ち込むガス状不純物が除去され、かつ高清浄度雰囲気を効率的に維持できる収納装置及びこの収納装置を用いて半導体基板の搬送時もしくは基板の保管時に清浄度を維持する半導体基板収納方法を提供する。【解決手段】半導体基板1を収納する筐体3空間の雰囲気(Air)を循環させる換気ファン7と、この筐体内に配置されこの雰囲気に含まれるガス状不純物を吸着するケミカルフィルタ6とを備えており、筐体内の相対湿度は5乃至40%に維持されている。半導体基板を保管している間に発生する集積回路の配線を断線してしまう問題(コロージョン)や厚い自然酸化膜が形成されてしまう問題を同時に解決することができる。湿度を制御することにより、ケミカルフィルタの能力を維持させることができる。

請求項（抜粋）：

基板を収納する空間を蓋により密閉する筐体と、前記空間の雰囲気を循環させる雰囲気循環装置と、前記筐体内に配置され、前記雰囲気に含まれる不純物を吸着するケミカルフィルタと、携帯用電源とを備え、前記空間は相対湿度が5乃至40%にあることを特徴とする基板収納装置。

Fターム (10件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA09 , 5F031EA02 , 5F031MA28 , 5F031NA02 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031NA20

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-045333
可搬式密閉コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011674 出願人：神鋼電機株式会社
特開平1-216551

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