特許
J-GLOBAL ID:200903052336608894

液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-221548
公開番号(公開出願番号):特開2008-044218
出願日: 2006年08月15日
公開日(公表日): 2008年02月28日
要約:
【課題】ノズルが高密度化されて、電気接続部と液体供給路との間隔が狭くなっても、液体供給路に導電性材料が流入しないようにできる液滴吐出ヘッドとその製造方法並びに液滴吐出装置の提供を課題とする。【解決手段】液滴を吐出するノズル56と、ノズル56と連通し、液体110が充填される圧力室115と、圧力室115の一部を構成する振動板48と、振動板48を変位させる圧電素子46と、を有する液滴吐出ヘッド32において、圧電素子46が形成された基板70上に成膜された感光性材料40の内部に、導電性材料86と接続させる金属膜90を埋設する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
液滴を吐出するノズルと、 前記ノズルと連通し、液体が充填される圧力室と、 前記圧力室の一部を構成する振動板と、 前記振動板を変位させる圧電素子と、 を有する液滴吐出ヘッドであって、 前記圧電素子が形成された基板上に成膜された感光性材料の内部に、金属膜が埋設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (13件):
2C057AF35 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG42 ,  2C057AG77 ,  2C057AG84 ,  2C057AG90 ,  2C057AG91 ,  2C057AN05 ,  2C057AP02 ,  2C057AP47 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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