特許
J-GLOBAL ID：200903052429745344
検出装置及びそれを用いた露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-131132
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023225
出願日： 1998年04月25日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ表面の光軸方向の面位置情報を高精度に検出し、ウエハ表面を投影光学系の結像位置に位置させ、高集積度のデバイスを容易に製造することができる検出装置及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 第1のパターンジェネレータと該第1のパターンジェネレータの形成したパターンを物体面上に斜め方向より投影して前記物体面上にパターン像を形成する投光光学系と、前記パターン像からの光を導く受光光学系と、前記受光光学系に導かれた光を検出する受光素子とを有し、該受光素子の検出により前記物体面の面位置情報を検出すること。
請求項（抜粋）：
第1のパターンジェネレータと該第1のパターンジェネレータの形成したパターンを物体面上に斜め方向より投影して前記物体面上にパターン像を形成する投光光学系と、前記パターン像からの光を導く受光光学系と、前記受光光学系に導かれた光を検出する受光素子とを有し、該受光素子の検出により前記物体面の面位置情報を検出することを特徴とする検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G03F 9/00
, H01L 21/027
G01B 11/00 H
, G01B 11/26 H
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 526 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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