特許
J-GLOBAL ID：200903052431759425

検査装置

発明者：
鈴木 保之

鈴木 保之 について

, 
宮下 丈人

宮下 丈人 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294514
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118895
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウェハ等の検査を行う環境を高いクリーン度に保ち、微細なパターンの検査を適切に行うことを可能にする。【解決手段】 半導体ウェハ等の検査を行う装置本体10をクリーンボックス3の内部に収容し、この装置本体10が収容されたクリーンボックス3の内部に、クリーンエアユニット4から清浄な空気を供給する。クリーンエアユニット4には、複数の送風機5a,5bを設け、クリーンボックス3の内部に供給する清浄な空気の風量を、これら複数の送風機5a,5b毎に個別に制御できるようにする。これにより、クリーンボックス3内の気流を自在にコントロールすることが可能となり、クリーンボックス3内に発生した塵埃等をクリーンボックス3の外部に効果的に排出し、クリーンボックス3の内部を高いクリーン度に保つことができる。
請求項（抜粋）：
被検査物の検査を行う装置本体部と、上記装置本体部を内部に収容するクリーンボックスと、上記クリーンボックスの上部に設けられ、上記クリーンボックスの内部に清浄な空気を供給する空気供給部とを備え、上記空気供給部は、上記クリーンボックス上部の異なる位置に配設された複数の送風機を有し、上記クリーンボックスの内部に供給する清浄な空気の風量を、上記複数の送風機毎に個別に制御可能とされていることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956
FI (3件)：
H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A
Fターム (53件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD13 ,  2F065DD14 ,  2F065DD15 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13 ,  2F065TT04 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA17 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ23
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM